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        1. 首頁 應用領域 >> 半導體裝備
          • 紫外曝光 光刻領域

            2016-12-11

            激埃特光電生產的大尺寸紫外光學薄膜器件主要用于紫外曝光機系統中,其中紫外反射鏡采用線膨脹系數為(3.3士0.1)×10-6/K的高硼硅玻璃做為基底,內表面精密數控加工成形,鍍制多層硬質氧化物薄膜

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